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  • 《微系统设计与制造》
    作者：王喆垚　出版社：清华大学出版社
    ISBN：9787302151968 / 7302151962
    出版时间：2008-2-1　丛编项：清华大学信息科学技术学院教材·微电子光电子系列
    简介：微系统（MEMS）是一门多学科高度交叉的前沿学科领域，其设计、制造和应用广泛涉及到物理学、化学、力学、微电子学、电子学、光学、生物医学和控制工程...
    主题项：工业技术－无线电电子学、电信技术－一般性问题－制造工艺及设备
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