薄膜光学与薄膜技术基础

第1章 薄膜光学的电磁理论基础
1.1 麦克斯韦方程
1.2 平面电磁波
1.2.1 复矢量波动方程——齐次矢量亥姆霍兹方程
1.2.2 理想介质中的平面波解
1.2.3 吸收介质中的平面波解
1.3 平均电磁能流密度——光强
1.4 电磁波谱、光谱
习题
参考文献
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射
2.1.1 S波反射与透射
2.1.2 P波反射与透射
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射
2.2.1 S波反射与透射
2.2.2 P波反射与透射
2.3 非均匀介质界面的反射与透射
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程
2.4 各向异性介质界面的反射与透射
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化
2.5.1 全反射与倏逝波
2.5.2 全透射
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化
2.6 反射率和透射率
2.6.1 理想介质分畀面的反射率和透射率
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率
习题
参考文献
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射
3.1 法向阻抗和光学有效导纳的概念
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点
3.4 非均匀介质膜层的特征矩阵
3.4.1 一阶近似
3.4.2 二阶近似
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射
习题
参考文献
第4章 膜系设计图示法
4.1 矢量法
4.2 导纳图解法
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图
4.3 金属膜导纳圆图
4.4 膜系层间电场分布
习题
参考文献
第二篇 光学薄膜分类及应用
第5章 增透膜
5.1 表面反射对光学系统性能的影响
5.2 基底介质非相干叠加的透射率
5.3 透射滤光片组合透射率
5.4 均匀介质增透膜
5.4.1 单层均匀介质增透膜
5.4.2 多层均匀介质增透膜
5.5 非均匀介质增透膜
5.6 入射角变化对透射率的影响
5.7 增透膜应用实例——液晶显示增透膜
习题
参考文献
第6章 高反射膜
6.1 反射镜组合的反射率
6.2 周期多层膜系的反射率
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率
6.3 [HL]m类型的周期多层膜
6.4 |（0.5 L）H（0.5 L）|m类型的对称周期多层膜
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜
6.6 中远红外区域的多层高反射膜
6.7 软X射线区域的多层高反射膜
6.8 金属反射镜
6.8.1 常用金属反射镜
6.8.2 金属-介质反射镜
6.9 影响反射特性的因素
6.10 高反射镜应用实例
6.10.1 激光高反射镜
6.10.2 光刻机系统193nm高反射膜
6.10.3 DLP/LCoS投影薄膜——宽角度高反射镜
习题
参考文献
第7章 带通滤光片
7.1 带通滤光片的特性描述
7.2 带通滤光片的基本构型——法布里-珀罗干涉仪及其变形
7.3 法布里-珀罗干涉仪透射率计算
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法
7.3.2 膜系透射定理
7.3.3 法布里-珀罗干涉仪的透射率计算
7.3.4 法布里-珀罗干涉仪透射特性分析
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算
7.4 窄带和中等带宽滤光片
7.4.1 法布里-珀罗干涉滤光片
……
第三篇 薄膜技术基础