光学薄膜技术

第一章 薄膜光学特性计算基础
1.1 单一界面的反射率和透射率
1.2　单层介质膜的反射率
1.3 多层介质膜的反射率和透射率
1.4　金属薄膜的光学特性
1.5　光学零件的反射率和透射率
第二章 介质膜系及其应用
2.1 减反射膜
2.2　高反射膜
2.3　中性分束膜
2.4　截止滤光片
2.5　带通滤光片
2.6　偏振分束膜
2.7　消偏振膜系
第三章　薄膜制造技术
3.1　光学真空镀膜机
3.2　真空与物理汽相沉积
3.3　真空获得与检测
3.4　热蒸发
3.5　溅射
3.6 离子镀
3.7　离子辅助镀
第四章　光学薄膜制造工艺
4.1 光学薄膜器件的质量要素
4.2　影响膜层质量的工艺要素
4.3　获得精确厚度的方法
4.4　获得均匀膜层的方法
第五章　薄膜材料及其性质
5.1　薄膜的微观结构与性质
5.2　常用光学薄膜材料
附录　常见薄膜材料参数
参考文献