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真空沉积技术

真空沉积技术

定　价：¥7.45

作　者：	李学丹等编著
出版社：	浙江大学社
丛编项：
标　签：	真空治积

ISBN：	9787308013260	出版时间：	1994-08-01	包装：	平装
开本：	26cm	页数：		字数：

内容简介

　　本书内容有：真空与低温等离子体物理基础、成膜技术、薄膜的检测与分析等。

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