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薄膜科学与技术手册

薄膜科学与技术手册

定　价：¥52.00

作　者：	田民波，刘德令编译
出版社：	机械工业出版社
丛编项：
标　签：	薄膜

ISBN：	9787111026297	出版时间：	1991-05-01	包装：	精装
开本：	27cm	页数：	996页	字数：

内容简介

　　本书介绍了薄膜基础，薄膜制备工艺，薄膜性能检测和薄膜技术的应用。本册为薄膜技术的应用。

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