扫描电子显微学及在纳米技术中的应用

定　价：¥80.00

作　者：	周维列王中林
出版社：	高等教育出版社
丛编项：	当代科学前沿论丛
标　签：	集成电路

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ISBN：	9787040190083	出版时间：	2007-03-01	包装：	平装
开本：	16开	页数：	450	字数：

内容简介

　　在过去的10年中，纳米技术的飞速发展使得扫描电子显微镜成为了一种分析和构建新纳米材料、结构和器件不可缺少的有力的工具。新纳米材料的发现需要通过先进的分析技术和技能来获取高质量的图片，从而帮助我们理解纳米结构，以达到改进合成方法和提高性能的目的。例如场发射枪、背散射电子的探测、X射线元素的图像化等，已经很大程度地提高了扫描电子显微镜在纳米材料分析中的应用。除了分析功能之外，扫描电子显微镜可以与最新发展起来的测控技术相结合，实行原位纳米器件的加工、制造和性能表征。这些技术包括纳米材料的操控、电子刻蚀、聚焦离子束微加工等。虽然这些技术仍在发展之中，但它们已开始广泛应用于纳米研究的各个领域。

作者简介

　　周维列博士，1993年毕业于中国科学院物理研究所。1994一1997年先后在日本精密陶瓷材料研究所（JFCC）和美国凯斯西部保留大学（CWRU）从事电子显微学博士后研究。1998年至今任美国新奥尔良大学（LJNO）先端材料研究所（AMRI）电镜室主任。从事电子显微镜在材料中的应用近20年，获美国自然科学基金（NSF）和美国国防部先端研究项目（DARPA）等多项资助。现为美国电子显微学会和材料学会会员。王中林博士，美国佐治亚理工学院（Georgia Institute of TechnoIogy）终身教授、校董事讲席教授（Regents’Professor）、纳米结构表征和器件制造中心主任，中国国家纳米科学中心海外主任，美国物理学会资深会员（Fellow）。荣获美国显微镜学会1999年巴顿奖章，佐治亚理工学院2000年和2005年杰出研究奖，2005年Sigma Xi学会持续研究奖，2001年S．T．Li奖金（美国化学学会），美国自然科学基金会CAREER基金。他是1992：2002年10年中纳米科技论文引用次数世界个人排名前25位作者之一，其学术论文已被引用10000次以上。

图书目录

Chapter 1 Fundamentals of Scanning Electron Microscopy
　1.1 Introduction
　1.2 Configuration of scanning electron microscopes
　1.3 Specimen preparation
　1.4 Conclusion
　References
Chapter 2 Electron Backscatter Diffraction(EBSD)Technique and Materials Characterization Examples
　2.1 Introduction
　2.2 Data measurement
　2.3 Data analysis
　2.4 Applications
　2.5 Current limitations and fur
　2.6 Conclusion
　References
Chapter 3 X-ray Microanalysis in Nanomaterials
　3.1 Introduction
　3.2 Monte Carlo modeling of nanomaterials
　3.3 Case studies
　3.4 Conclusion
　References
Chapter 4 Low kV Scanning Electron Microscopy
　4.1 IntrOductlon
　4.2 Electron generation and accelerating voltage
　4.3 Why use low kV?
　4.4 Using low kV
　4.5 Conclusion
　References
Chapter 5 E-beam Nanolithography Integrated with Scanning Electron Microscope
　5.1 Introduction
　5.2 Materials and processing preparation
　5.3 Pattern generation
　5.4 Pattern processing
　5.5 Applications
　5.6 Conclusion
　References
Chapter 6 Scanning Transmission Electron Microscopy for Nanostructure Characterization
　6.1 Introduction
　6.2 Imaging in the STEM
　6.3 Spectroscopic imaging
　6.4 Three-dimensional imaging
　6.5 Recent applications to nanostructure characterization
　6.6 Future directions
　References
Chapter 7 Introduction to ln-situ Nanomanipulation for Nanomaterials Engineering
　7.1 Introduction
　7.2 SEM Contamination
　7.3 Types of nanomanipulators
　7.4 End effectors
　7.5 Applications of nanomanipulators
　7.6 Conclusion
　References
Chapter 8　Applications of FIB and DualBeam for Nanofabrication
　8.1 Introductlon
　8.2 Onboard digital patterning with the ion beam
　8.3 FIB milling or CVD deposition with bitmap files
　8.4 Onboard digital patterning with the electron beam
　8.5 Automation for nanometer control
　8.6 Direct fabrication of nanoscale structures
　8.7 Conclusion
　References
Chapter 9 Nanowires and Carbon Nanotubes
　9.1 Introduction
　9.2 Ⅲ-V compound semiconductors nanowires
　9.3 Ⅱ-VI compound semiconductors nanowires
　9.4 Elemental nanowires
　9.5 Carbon nanotubes
　9.6 Conclusion
　References
Chapter 10 Photonic Crystals and Devices
　10.1 Introduction
　10.2 SEM imaging of photonic crystals
　10.3 Fabrication of photonic crystals in SEM
　10.4 Conclusion
　References
Chapter 11 Nanoparticles and Colloidal Self-assembly
　11.1 Introduction
　11.2 Metallic nanoparticles
　11.3 Mesoporous and nanoporous metal nanostructures
　11.4 Nanocrvstalline oxides
　11.5 Nanostructured semiconductor and thermoelectric materials
　11.6 Conclusion
　References
Chapter 12 Nano-building Blocks Fabricated through Templates
　12.1 Introduction
　12.2 Materials and methods
　12.3 Nano-building blocks
　12.4 Conclusion
　References
Chapter 13　One-dimensional Wurtzite Semiconducting Nanostructures
　13.1 Introduction
　13.2 Synthesis and fabrication of one—dimensional nanostructures
　13.3 One-dimensional metal oxide nanostructures
　13.4 Growth mechanisms
　13.5 Conclusion
　References
Chapter 14 Bio-inspired Nanomaterials
　14.1 Introduction
　14.2 Nanofibers
　14.3 Nanoparticles
　14.4 Surface modification
　14.5 Conclusion
　References
Chapter 15 Cryo-Temperature Stages in Nanostructural Research
　15.1 Introduction
　15.2 Terminology used in cryo-HRSEM of aqueous systems
　15.3 Liquid water，ice，and vitrified water
　15.4 History of 10W temperature SEM
　15.5 Instrumentation and methods
　References