薄膜材料科学（第2版）

定　价：¥188.00

作　者：	（美）奥林著，刘卫国，蔡长龙，梁海锋等译
出版社：	国防工业出版社
丛编项：
标　签：	工业技术一般工业技术

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ISBN：	9787118081442	出版时间：	2013-02-01	包装：	平装
开本：	16开	页数：	484	字数：

内容简介

　　《薄膜材料科学（第2版）》详细介绍了涉及薄膜材料科学的各个方面，内容包括真空技术、薄膜沉积技术与原子过程、薄膜的结构与性能表征等。本书内容广泛，资料全面，各章后面附有习题，是一本真正意义上的薄膜科学与技术的教科书。该书自1992年第1版问市以来，深受材料科学界的广泛欢迎。非常适用于从事薄膜材料研究的专业研究人员、材料类院系高年级本科生和研究生作教材或参考书。本书由中国科学院物理研究所研究员曹则贤先生特别推荐。

作者简介

暂缺《薄膜材料科学（第2版）》作者简介

图书目录

第1章材料科学基础
第2章真空科学与技术
第3章薄膜热蒸发过程
第4章放电、等离子体、离子与表面的相互作用
第5章薄膜制备的等离子体与离子束工艺
第6章化学气相沉积
第7章基底表面与薄膜成核
第8章外延生长
第9章薄膜结构
第10章薄膜及表面的特性
第11章薄膜内的互扩散、反应和相变
第12章薄膜的力学性能
习题
附录