微纳米加工技术及其应用（第四版）

定　价：¥129.00

作　者：	崔铮
出版社：	高等教育出版社
丛编项：
标　签：	暂缺

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ISBN：	9787040543025	出版时间：	2020-10-01	包装：	平装-胶订
开本：	16开	页数：		字数：

内容简介

　　本书集作者多年来的实践经验与研究成果，综合介绍微纳米加工技术的基础，包括光学曝光技术、电子束曝光技术、聚焦离子束加工技术、扫描探针加工技术、微纳米尺度的复制技术、各种沉积法与刻蚀法图形转移技术、间接纳米加工技术与自组装纳米加工技术等。第四版在内容上反映了集成电路芯片加工技术的进步，不论是对初次涉足这一领域的大专院校的本科生或研究生，还是对已经有一定工作经验的专业科技人员，都具有很好的参考价值。