图1-3 旋片式真空泵工作原理图

图1-4为双级旋片泵结构图，当高真空级腔与低真空级腔不等时，需要在两级之间设置辅助排气阀。辅助排气阀的作用是在入口压力较高、经高真空级腔压缩的气体已经达到排气压力时，辅助压力阀打开，部分气体由辅助排气阀排出，部分气体被低真空级腔抽走。随着泵入口压力的降低，辅助排气阀的排气量逐渐减少，直至最后关闭。

图1-4 双级泵结构示意图

气镇阀是旋片泵为抽除可凝性气体而设置的。是防止抽出气体中有水汽凝结，而在泵中抽出气体被压缩时通过一专用阀引入一些空气，稀释水汽浓度以免凝结。此外，为了防止泵喷油、返油，改善泵的润滑条件，扩大泵的使用范围。旋片泵还配有多种附件，如油雾捕集器、分子过滤器、尘粒过滤器、化学过滤器、油过滤器等。

(4)滑阀泵

滑阀泵与旋片泵类似，也是一种变容式气体传输真空泵。滑阀泵主要由泵体、偏心轮、滑阀组件和导轨等组成。滑阀泵工作原理如图1-5所示。与泵腔同心的驱动轴带动偏心轮旋转，偏心轮带动滑阀环运动，使滑阀杆在导轨中上下滑动和左右摆动。滑阀将泵腔分成A、B两个部分。当驱动轴按图中所示方向转动时，A腔的容积增加，压力降低，泵入口气体经滑阀杆A腔一侧的开口进入A腔，此时处于吸气过程。当滑阀处于左上方位置时[见图2-5(c)]，A容积达到最大，此时进气口与A腔隔断，完成吸气过程;B腔的容积减小，压缩气体。当B腔内气体压力达到排气压力时，推开油封的排气阀，开始排气。当滑阀处于左上方位置时，排气终了。在连续运转过程中，泵不断地进行吸气、压缩和排气过程，从而达到连续抽气的目的。