(8)油扩散喷射真空泵

油扩散喷射真空泵又称油增压泵。其工作压力范围为10~10-2Pa，这个压力范围正好是高真空油扩散泵和油封式机械泵抽气能力下降的中间地带。油封式机械泵的抽速随压力降低而明显地减小，在10-1Pa时实际抽速几乎为零，而大多数油扩散泵在此压力范围内抽速也很小。在1~10-1Pa工作压力范围内，油增压泵恰好具有较大的抽速。因此，油增压泵除用做主泵外，常用到大型油扩散泵的出口处，来增加其出口压力，使前级机械泵能有效的工作，故称其为油增压泵。

油增压泵的工作原理和扩散泵相似，构造和抽气过程也相仿。图1-11是大型五级油增压泵的结构示意图。

图1-11 大型五级油增压泵结构图

油增压泵和油扩散泵的区别:

①增压泵在较低真空时工作性能好，工作压强为10~10-2Pa;扩散泵在较高真空时工作性能好，工作压强是10-1~10-5Pa。

②扩散泵抽出气体是通过气体分子扩散到油蒸气中，被高速油蒸气分子碰撞，使气体分子具有向下运动的速度;而增压泵则是通过油气流边界层与被抽气体间的黏性摩擦而夹带气体的。

③通常油增压泵比油扩散泵抽气量高4~20倍，加热功率高2~5倍，因为油蒸气的密度大，气流的速度高。而扩散泵油蒸气密度小，气体流速低。

④两种泵所用的油不同。增压泵油应能抗氧化，油蒸气分子直径大，饱和蒸气压高。

⑤增压泵的最大出口压力为40~100Pa，而扩散泵为20~50Pa。

油增压泵广泛用于真空熔炼、真空热处理、真空干燥、浸渍和蒸馏等设备的真空系数中。