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集成电路先进封装工艺:Cu-Cu键合技术

集成电路先进封装工艺:Cu-Cu键合技术

定 价:¥109.00

作 者: 史铁林 李俊杰 汤自荣 廖广兰
出版社: 高等教育出版社
丛编项:
标 签: 暂缺

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ISBN: 9787040576368 出版时间: 2022-03-01 包装: 精装
开本: 页数: 196 字数:  

内容简介

  微电子封装中的互连键合是集成电路(integrated circuits,IC)后道制造中关键和难度的环节,直接影响集成电路本身电性能、光性能和热性能等物理性能,很大程度上也决定IC产品小型化、功能化、可靠性和成本。然而,随着封装密度增加,器件功率增加,Cu凸点面临尺寸大幅减小并且互连载流量大幅增加等现状,产业界成熟的Cu-Cu键合方法已很难适应高密封装的快速发展,研发更先进的Cu-Cu键合技术并推向产业化是当前迫在眉睫的需求。针对电子封装行业中所面临的技术需求,本书系统介绍了国内外Cu-Cu键合技术的研究现状,结合作者及课题组全体研究人员长期在微电子封装领域的研究积累,梳理了基于表面活化的Cu-Cu键合、基于金属纳米焊料的Cu-Cu、基于自蔓延反应放热的Cu-Cu键合以及先进键合技术在Cu凸点互连中的应用等多个热点研究内容,并在实验方法、工艺优化、理论研究等多个方面进行了深入探讨。本书全面、深入地介绍了集成电路封装中先进的Cu-Cu键合技术和的研究进展,可供高年级本科生、研究生以及从事集成电路封装与互连/键合工艺研究的技术人员参考和阅读。

作者简介

暂缺《集成电路先进封装工艺:Cu-Cu键合技术》作者简介

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